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          金屬表麵去油汙並清洗，在真空和瞬時高溫狀態下，汙染物部分蒸發，汙染物在離子的衝擊下被擊碎並被真空泵抽出，紫外破壞汙染物，因為等離子處理每秒隻能穿透幾個納米的厚度，所以汙染層不能太厚。指紋也適用。在等離子表麵處理設備加工過程中，通過處理氣體的作用，被刻蝕物會變成氣相，例如在使用氟氣對矽刻蝕時。處理氣體和基體物質被真空泵抽出，表麵連續被新鮮的處理氣體覆蓋。不希望被刻蝕部分要使用材料覆蓋起來。 等離子表麵處理的作用可以簡單地用滴水來驗證，處理過的樣品表麵被水潤濕。長時間的等離子處理，材料表麵不但被活化還會被刻蝕，刻蝕表麵具有較小的表麵接觸角和較大潤濕能力。
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